
Ключевыми особенностями интерферометров µPhase является:
|
Параметр |
Значение |
|
Габариты датчика, (ДхШхВ), мм |
130х60х100 |
|
Длина волны источника излучения, нм |
от 355 до 1064 |
|
Длина когерентности источника излучения, м |
100 |
|
Нижний предел измерений топограммы относительных высот профиля поверхности, не более, мкм |
0,032 |
|
Верхний предел измерений топограммы относительных высот профиля поверхности, не более, мкм |
20 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения топограммы относительных высот профиля поверхности, не более, мкм |
±0,032 |