Система реактивно-ионного травление (РИТ) в компактном настольном корпусе
Система анизотропного реактивно-ионного травления (РИТ) RIE-1701 предназначена для травления и очистки поверхности различных полупроводниковых материалов, включая кремний, оксид кремния, нитрид кремния, металлов и различных других материалов, используемых для производства МЭМС, светодиодных устройств и множества других компонентов, удаления пассивирующих слоев, очистки поверхности полупроводниковых пластин, активации поверхности, удаления различных эпоксидных и других материалов, используемых при изготовлении интегральных схем.
Система RIE-1701 полностью автономна и требует минимального свободного пространства. Корпус, который выполняет функцию защитного кожуха, включает в себя плазменную камеру, электронную систему управления и ВЧ-генератор 13.56 МГц. Доступ к рабочей камере осуществляется через дверцу на передней панели.
Рабочая камера изготовлена из высококачественного анодированного алюминия с керамическими оправками, что обеспечивает долгий срок эксплуатации. Рабочая камера оснащается питающим электродом диаметром 150мм либо 200мм, что позволяет существенно расширить диапазон обрабатываемых пластин, корпусов и других компонентов.
Высокое качество плазменного травления при производстве МЭМС и светодиодных устройств Система работает с большим разнообразием технологических газов, включая Ar, O2, H2, He, CF4, SF6, Cl2, а также BCl3. В комплект системы входят два электронных контроллера расхода газа, еще 2 доступны как дополнительная опция (всего 4). Высокая скорость и превосходная однородность травления
|
Рабочая камера RIE-1701 (версия для пластин 150мм) |
Корпус |
Рама алюминиевая, стенки из термопластика. Полностью закрывает рабочую камеру, электронику и генератор (насос внешний) |
Общий вид системы RIE-1701 с открытой передней дверцей и поднятой крышкой рабочей камеры
Общий вид системы RIE-1701 с закрытой передней дверцей, открытым смотровым окном и поднятой крышкой рабочей камеры |
Габариты |
Ш 569 х В 704 х Г 869 мм |
|
Камера |
Материал: анодированный алюминий с керамической оснасткой Внутренние размеры камеры: Диам. 254х В 38 (мм) Смотровое окно Рабочая зона систем под 6" и 8" пластины: диам. 152 мм, либо диам. 203 мм, соответственно. |
|
ВЧ-генератор |
600 Вт, 13.56 МГц, твердотельный, автоматическая настройка |
|
Управление потоком газа |
В базовом оснащении два регулятора расхода газа (опционально до четырех) |
|
Управление |
Программируемый логический контроллер и графический интерфейс управления на основе сенсорного экрана |
|
Системаоткачки |
Насос 552 л/мин с масляной ловушкой. Пригоден для работы с коррозионными газами. |
|
Требования к подключениям |
Линия электропитания: Однофазная сеть, 110-240В, 10А Продувочный газ: 0.25" разъем для подачи азота или чистого сухого воздуха под давлением 0,7-7 Бар Подача рабочих газов: 0.25" разъем, 0,7..1,0 Бар Азот/ чистый сухой воздух: 0.25" разъем под давлением 3,5..5,5 Бар |
|
Опции |
|