Juno - установка плазменной обработки со средним объёмом камеры, подходит как для применения в лабораторных условиях, так и в серийном производстве. Может использоваться для плазменного травления фоторезиста.

Отличительные особенности модели:

- Генератор ВЧ плазмы 13.56 МГц с автоматической регулировкой;
- Подача рабочего газа управляется с помощью контроллера массового расхода (MFC);
- Встроенный вакуумный насос;
- Высокоточный датчик давления;
- Алюминиевая камера с никелевым покрытием, без сварных швов;
- Управление с помощью ПЛК и сенсорного дисплея.
- Объём камеры: 80 л;
- Система электродов в виде полок; 
- 2 газовые линии.