Описание

Озонаторы работают по принципу коронарного разряда (кислород подается через электрическое поле высокого потенциала и задействует высокопроизводительное разрядное устройство), что отличает их от озонаторов, действующих по конвекционному методу. Разрядное устройство данных озонаторов имеет большую площадь и водяное охлаждение, что позволяет генерировать большую концентрацию озона к площади разрядного устройства.

Основные преимущества:

• Генерация большого объема озона ультравысокой концентрации в непрерывном режиме
• Генерация ультрачистого озона благодаря применению электродов с керамическим напылением и сапфировых диэлектриков
• Занимает значительно меньшую площадь по сравнению с аналогами благодаря повышенной производительности
• Имеет встроенный датчик утечки озона в стандартной комплектации
• Отвечает требованиям стандарту S2-93, также доступны модели в соответствие с CE
• Принцип работы: кислород проходит через разрядное устройство (электрическое поле), тем самым ионизируются молекулы кислорода, вступают в реакцию и генерируется озонированный газ. Затем полученный озонированный газ может быть использован в соответствие с Вашим применением

Применения:

• Химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении - осаждение SiO2 на основе тетраэтилортосиликата
• Травление сухого фоторезиста
• Магнетронное напыление
• Сухая и влажная чистка
• Окисление поверхностей
• Отжиг оксидных плёнок
• Обеззараживание воды высшей степени очистки

Основные характеристики